工
作
臺(tái)
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型 號(hào)
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VMS-1510G/VMS-1510F
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VMS-2010G/VMS-2010F
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VMS-2515G/VMS-2515F
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VMS-3020G/VMS-3020F
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金屬臺(tái)尺寸(mm)
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354×228
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404×228
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450×280
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500×330
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運(yùn)動(dòng)行程(mm)
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150×100
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200×100
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250×150
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300×200
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Z軸升降行程(mm)
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200(特殊訂購(gòu)達(dá)400)
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截面原點(diǎn)一致性誤差(μm)
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G型:E0≤30(Z軸升降行程每100mm); F型:E0≤20(Z軸升降行程每100mm)
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X、Y、Z數(shù)顯分辨力:0.5μm X、Y坐標(biāo)示值誤差:(2.5+L/100)μm(L為被測(cè)長(zhǎng)度,單位:mm)
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影
像
系
統(tǒng)
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F型
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G型
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1/2”彩色CCD攝像機(jī)
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1/3”彩色CCD攝像機(jī)
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變倍鏡頭倍率:0.7X~4.5X
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變倍鏡頭倍率:0.7X~4.5X
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視頻倍率:20~128X
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視頻倍率:26.6~171X
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物方視場(chǎng):11.1mm~1.7m
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物方視場(chǎng):8.1mm~1.3m
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表面光源與透射光源均用LED,亮度可調(diào)
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